Inficon BCG450 – ATM to Ultra High Vacuum Triple Gauge

Đại lý ủy quyền INFICON phân phối thiết bị chính hãng tại Việt Nam (Inficon Vietnam)

Dịch vụ của chúng tôi

ü  Phân phối thiết bị Inficon chính hãng

ü  Dịch vụ Bảo hành thiết bị Inficon

ü  Dịch vụ sửa chữa thiết bị Inficon

ü  Bảo dưỡng và hiệu chuẩn định kỳ thiết bị Inficon

Advantages

ü  BCG450 saves cost and tool space and reduces the complexity of vacuum measurement installation and setup

ü  Gas-type-independent pressure measurement above 10 Torr provides more reliable loadlock control for any gas mixture

ü  Pirani interlock protects the hot filament from premature burnout

ü  Automatic high vacuum Pirani adjustment reduces operator interventions

ü  Differential pressure measurement at atmosphere eliminates uncertainty related to atmospheric pressure changes

ü  Easy-to-exchange sensing element with on-board calibration data guarantees reproducibility

ü  Optional graphic display and Fieldbus interfaces available

ü  RoHS compliance

Typical applications

ü  Pressure measurement in Semiconductor process, transfer and loadlock chambers

ü  Industrial coating

ü  General vacuum measurement and control on systems in the low to ultra high vacuum range

Specifications

ORDERING INFORMATION